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集成電路芯片上微量有機(jī)異物分析

  • 儀器品牌賽默飛
  • 經(jīng)營(yíng)單位京科瑞達(dá)
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詳情介紹

集成電路芯片上的異物可通過(guò)紅外顯微鏡進(jìn)行測(cè)量。紅外顯微鏡對(duì)分析來(lái)自大氣灰塵中或制作過(guò)程中使用的原材料的有機(jī)異物非常有效。

圖中的異物呈現(xiàn)出特征的酰胺化合物譜峰,表明這個(gè)異物是源于生物的,例如皮膚碎片。

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